検索したら出てきた。

10^14Ω(100TΩ）より大きいらしい。

ちなみに武田理研はこれの後継機種のTR8652と現行機種のTR8252の３種類のエレクトロメーターを出している。

TR8652は真空管はは使っていないのでちょっと入力抵抗が一桁落ちるが現行機種では10^14Ωに戻っている。エレクトロメーター級のOPアンプ、OPA128なんかが使われているのかもしれない。

エレクトロメーターというのはいわゆる検電器のことで、電荷を測るもので、真空管の登場で電子化されていろいろな用途に使われている。

微少電流を扱う半導体の評価や試験にも使われるし、科学や物理の実験装置にも使われる。

かなり現在でも重要な測定器のひとつではある。

いつかこれを利用して半導体の特性とかを測定してみたい。